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  • 产品名称:全自动四探针测试仪

  • 产品型号:FT-3110
  • 产品厂商:ROOKO
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简单介绍:
全自动四探针测试仪,四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;全自动四探针测试仪可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.
详情介绍:

全自动四探针测试仪

.功能描述

全自动(dong)四(si)探(tan)针测试仪

四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提(ti)供标准(zhun)校准(zhun)电阻件.   报表输出数据(ju)统计分析(xi).

.适用范围

全自(zi)动四探针测(ce)试仪

晶圆、非(fei)晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材(cai)(cai)料分析,铁(tie)电材(cai)(cai)料,纳米(mi)材(cai)(cai)料,太(tai)阳能(neng)电池,LCD,OLED,触摸屏等.

 

.技术参数:

规格型号

FT-3110A

FT-3110B

1.电阻

10^-5~2×10^5Ω

10^-6~2×10^5Ω

2.方(fang)块电阻 

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

3.电阻(zu)率 

10^-6~2×10^6Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

4.测试电(dian)流 

0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,

 

10mA,100mA

1A100mA10mA1mA100uA10uA1uA0.1uA

5.电流(liu)精度 

±0.1%

6.电阻精(jing)度 

≤0.3%

7.PC软件操作(zuo)

PC软件(jian)界面:电(dian)(dian)阻(zu)、电(dian)(dian)阻(zu)率、电(dian)(dian)导率、方阻(zu)、温(wen)度、单位换算、电(dian)(dian)流、电(dian)(dian)压(ya)、探针形状(zhuang)、探针间距、厚(hou)度 、2D、3D图(tu)谱压力、

报表生(sheng)成

8.压力范(fan)围:

探(tan)针压力可调范围(wei):软件控制,100-500g可调

9.探

针间绝(jue)缘电阻:≥1000MΩ;机(ji)械游移率:≤0.3%

圆头(tou)镀金(jin)材质,探针间(jian)距(ju)1mm;2mm;3mm选配,其(qi)他(ta)规格可(ke)定制

10.可测晶片

尺寸选购

 

晶圆尺寸(cun)(cun):2-12寸(cun)(cun)6寸(cun)150mm,12寸300mm);

方形片:大至(zhi)156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分(fen)析模式

单(dan)点(dian)、五点(dian)、九点(dian)、多点(dian)、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.加压方式

测量(liang)重复(fu)性(xing):重复(fu)性(xing)≤3

13.安全防(fang)护

具有限(xian)位(wei)量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.测试环境

真空

15.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 

16.选购(gou)项目

电脑和打印机

全自动四探(tan)针测试仪(yi)

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