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  • 产品名称:半自动四探针测试仪

  • 产品型号:FT-3120
  • 产品厂商:ROOKO
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简单介绍:
半自动四探针测试仪,四点探针标准测试方法,采用步进系统自动控制探头与样品接触,减少人为因素对测试结果的影响;参照A.S.T.M 标准;半自动四探针测试仪测量方块电阻、电阻率、电导率数据、PC软件采集和数据处理实现自动点测模式或手动点测模式,同一位置的重复测试或多点的面电阻测量,报表输出数据统计分析;半自动四探针测试仪
详情介绍:

半自动四探针测试仪

.功能描述

半自动四探(tan)针测试仪

四点探针标准测试方法,采用步进系统自动控制探头与样品接触,减少人为因素对测试结果的影响;参照A.S.T.M 标准;测量方块电阻、电阻率、电导率数据、PC软件采集和数据处理实现自动点测模式或手动点测模式,同一位置的重复测试或多点的面电阻测量,报表输出数据统计(ji)分析;提供标准(zhun)校准(zhun)电阻件.

.适用范围:

半自动(dong)四(si)探针测试仪

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料(liao)分析,铁电材料(liao),纳米材料(liao),太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.

 

规格型号

FT-3120A

FT-3120B

FT-3120C

FT-3120D

1.电阻

10^-3~2×10^4Ω

10^-5~2×10^5Ω

10^-6~2×10^5Ω

10-4~1×107Ω

2.方块电阻 

10^-3~2×10^4Ω/□

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

10-4~1×107Ω/□

3.电阻率 

10^-4~2×10^5Ω-cm

10^-6~2×10^6Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

10-5~2×108Ω-cm

4.测(ce)试电流(liu) 

0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,

 

10mA,100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

10mA ---200pA

5.电流精度 

±0.1%

±2%

6.电阻(zu)精(jing)度 

≤0.3%

≤10%

7.PC软(ruan)件操作

PC软件(jian)界(jie)面:电(dian)阻、电(dian)阻率、电(dian)导率、方阻、温度、单位换算(suan)、电(dian)流、电(dian)压、探针(zhen)形状、探针(zhen)间距、厚(hou)度 、数(shu)据管理分析:过程数(shu)据,大(da)、小值(zhi),均值(zhi),方差,变异系数(shu),样品(pin)编号,测试(shi)点数(shu)统计(ji)报表生成

8.探针(zhen)范围:

探针压力为100-550g;依据样品(pin)接触需要(yao)手动调节

9.探

针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机(ji)械游(you)移率:≤0.3%

圆(yuan)头(tou)镀(du)金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制

10.可测晶片

尺寸(cun)选(xuan)购

 

晶(jing)圆尺寸(cun):2-12寸(cun)6寸150mm,12寸300mm);

方形(xing)片(pian):大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

自动或手动单点模(mo)式(shi)

12.加压方(fang)式

测量重复性(xing):重复性(xing)≤3

13.安全(quan)防(fang)护(hu)

具有(you)限位量程和(he)(he)压力保护(hu);误操(cao)作和(he)(he)急(ji)停防护(hu);异常警报(bao)

14.测试环境

实(shi)验室环境

15.电(dian)源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功(gong) 耗:<100W 

16.选购项目

电脑和打印(yin)机


三(san).技术参数:

 

 半自动四(si)探针测试(shi)仪


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